mile米乐体育:北京华卓精科请求干涉仪镜组及位移丈量体系专利提高干涉仪的分辨率

  金融界2024年10月31日音讯，国家知识产权局信息数据显现，北京华卓精科科技股份有限公司请求一项名为“干涉仪镜组及位移丈量体系”的专利，公开号CN 118836774 A，请求日期为2024年6月。

  专利摘要显现，本发明触及光学体系技术领域，供给一种干涉仪镜组及位移丈量体系，干涉仪镜组包含：偏振分光元件、位移分光元件、偏振态转化元件、光程扩展反射元件、榜首反射元件、第二反射元件和透射元件。第二线偏振光借助于榜首途径上的元件先后两次入射至衍射元件后经位移分光元件输出，第四线偏振光借助于第二途径上的元件先后两次入射至第二反射元件后经位移分光元件后输出。该干涉仪镜组能轻松完成4光学细分数的干涉仪，从而提高干涉仪的分辨率。以衍射元件的笔直方向为干涉仪镜组的垂向方向，干涉仪镜组还可以增大第二线偏振光在干涉仪镜组与衍射元件之间的垂向行程，从而有助于完成垂向的位移丈量规模可以彻底满意光刻机工件台的位移丈量规模的需求。

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