3D表面轮廓仪,其基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键
几何特征(关键孔径尺寸,曲率半径,特征区域的面积和体积,特征图形的位置和数量等等)。
白光干涉仪是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表明上进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面上的质量的2D、3D参数,以此来实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
可在半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中,测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供相关依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
白光干涉仪可对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征做测量和分析。
广泛应用于航空航天、军事防御、海洋勘探、无人驾驶等领域,其高灵敏度、强抗干扰和可靠性源于精密制造技术。优可测
提升良率与精度的关键 /
是如何测量位移的? /
可以高精度测量晶圆衬底的亚纳米级粗糙度、纳米级台阶、整体平面度、微观三维形貌等。
助力红外探测行业发展——晶圆衬底检测 /
的Z轴垂直精度和XY横向精度的相关概念,包括垂直分辨率、RMS重复性、台阶重复性等,以及影响精度的因素,并强调使用环境的稳定性对精度的重要性。
相关的精度概念都有哪些 /
是两种不同的高精度光学测量仪器。它们各自有着独特的应用优势和应用场景。选择哪种仪器更好,取决于具体的测量需求和
是两种不同的高精度光学测量仪器。它们各自有着独特的应用优势和应用场景。选择哪种仪器更好,取决于具体的测量需求和样品特性。在选择比较适合特定应用的技术时,需要
哪个好? /
橡胶密封圈的密封性是评判产品好坏的重要指标,其中表面粗糙度、平面度以及尺寸等均是影响密封性的主要的因素。优可测
、一键式影像测量仪、3D线激光测量仪精准覆盖检测需求,并具备相应的应用经验
:橡胶密封圈精密检测案例 /
AM-7000系列,精度可达亚纳米级别,最高RMS重复性可达0.002nm,最高扫描速度400μm/秒,3200Hz加以业内首创SST+GAT算法,可瞬间完成最高500万点云采集。
测量精度的外因主要指:1、当前测量环境下的空气温度、湿度、大气压力,影响在空气中传播的激光波长。2、被测工件温度,影响被测对象的热膨胀量。本文不做分析,将在下篇细述。激光
测量精度的重要的因素有哪些? /
广泛应用于科学研究和工程实践所有的领域中。它作为一款用于对各种精密器件及材料表明上进行亚纳米级测量的检验测试仪器,在测量坑的形貌方面扮演着举足轻重的角色。
能够在空间范围内实现曲面全自动测量功能,解决其形状不规则装夹不便、测量点分布不在同一个面、单次测量效率低的问题。
如何测曲面粗糙度特征 /
结合数字图像处理技术和三维重建算法来提高测量的精度和效率,揭秘并测量坑的形貌,为科学研究和工程实践提供更有力的支持。
):揭秘测量坑的形貌的利器! /
广泛应用于科学研究和工程实践所有的领域中。它作为一款用于对各种精密器件及材料表明上进行亚纳米级测量的检验测试仪器,在测量坑的形貌方面扮演着举足轻重的角色。
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