双频激光干与仪是在单频激光干与仪的基础上开展的一种外差式干与仪。和单频激光干与仪相同,双频激光干与仪也是一种以波长作为规范对被测长度进行衡量的仪器。双频激光干与仪能够在恒温,恒湿,防震的计量室内检定量块,量杆,刻尺和坐标丈量机等。它既能够对几十米的大量程进行精细丈量,也能够对手表零件等细小运动进行精细丈量,既能够对几许量如长度、视点、直线度、平行度、平面度、笔直度等做丈量,也能够适用于特别场合,比如
设测验光路和参阅光路的激光频率别离为ω 和ω + Δω ,则干与场的瞬时光强为:
因为的频率呼应规模远远低于激光频率ω ,它不能盯梢激光频率改变,所以上式中含有2ω的交变项对探测器的输出呼应无奉献。故探测器的输出为:
运用双频干与测验技能可进行长度、速度、视点、平面度、直线度、笔直度和振荡的丈量。
下图为双频激光干与丈量原理示意图。激光器宣布两个旋转方向相反的圆偏光f1和f2,其频差为Δf ,通过 1/4波片后变成两个振荡方向彼此笔直的线偏光,再通过准直体系后被分束镜分为两部分,其间一部分(约4%)被反射到振荡方向45° 放置的检偏器,按马吕斯特规律组成新的线偏光,发生多普勒效应的拍频,其频率为f2−f1,作为参阅信号被光电探测器接纳。投射的大部分光束被偏振分光镜分为两束, f2被反射到固定的角隅棱镜后回来,1f透过偏振光镜射向可动角隅棱镜并回来。
因为可动角隅棱镜的运动,使反射回来的光束频率发生显着的改变,变为f1+Δf,这两束光在偏振分光镜处再次会集,投射到振荡方向45°放置的检偏器,按马吕斯特规律组成新的线偏光,也发生多普勒效应频拍,其频率f2 − (f1+Δf),作为丈量信号被另一个光电探测器接纳。以上两支信号别离通过沟通放大器后被送入混频器,解调出被测信号Δf ,用可逆计数器对±Δf 信号累计干与条纹的改变数N能够计算出可动角隅棱镜的位移量为:
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仪器的代表,在精细制作、计量等各个职业领域中得到了广泛的运用,在精细位移、直线度、笔直度等
仪精度受什么影响? /
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