mile米乐体育:上海光机所在干涉仪波前校准办法研讨方面获得发展

  中国科学院上海光学精密机械研讨所高端光电装备部研讨团队近期在干涉仪测验的波前校准办法研讨方面获得发展。相关研讨成果以“High precision wavefront correction method ininterferometer testing”为题发表于Optics Express。本项工作中，研讨团队针对斐索干涉仪测验中波前差错与实践外表差错之间的差异，提出了一种新的高精度光学外表波前校对办法。主要内容有光学外表函数参数拟合、横向失真校对、错位差错消除和洼陷外表差错核算。并从函数参数拟合、射线追寻、插值等方面对该办法的差错进行了深入分析。零位测验装备中离轴抛物面镜的波前校准证明了该办法的有效性。成果显现，试验发生的环形差错明显减小，离轴方向差错从0.23λ提高到0.05λ（λ=632.8nm），非球面违背的PV超越8.5mm。该研讨在高精度光学元件查验测验进程中有重要意义。